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[LED & OLED EXPO 2019 영상] 폴텍, 반도체웨이퍼 결함 자동 검사 시스템 'nSpec' 선보여 (에이빙)
관리자 2019.06.27 370

폴텍 주식회사는 6월 25일(화)부터 27일(목)까지 일산 킨텍스(KINTEX) 1전시장에서 열리는 '제 17회 국제 LED & OLED EXPO 2019' 에 참가해 반도체 웨이퍼의 결함을 자동으로 검사, 분석하는 시스템 'nSpec'을 선보였다.

이 제품은 딥러닝과 AI 기술을 적용한 것으로 예시 이미지를 사용하여 'nSpec'을 교육하고 처리 결함을 신뢰성 있게 탐지하는 것이 특징이다.

또한 완전 자동 측정 및 분석 시스템을 가지고 있어 결함의 유형, 크기 등을 편하게 검사할 수 있고 0.35um(나노미터)의 아주 작은 결함까지 측정 가능하다는 게 관계자의 설명이다.

한편, 이번 전시회는 산업통상자원부, (사)LED산업포럼, 코트라가 주최하고 ㈜엑스포앤유가 주관하며 부천시, 한국에너지공단, 한국산업기술평가관리원, 한국광기술원, 한국전자통신연구원, 전자부품연구원, 한국조명연구원, 철원플라즈마산업기술연구원, 한국조명전기설비학회, 한국LED•광전자학회, 한국전등기구LED산업협동조합, 한국조명공업협동조합, 대만광산업협회, 일본LED협회, 중국조명협회, 일본 LED광원보급개발기구가 후원하고 있다.

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(영상 설명: 'LED & OLED EXPO 2019' 영상스케치)

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